簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Cheng-Hao Ko".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="薄膜厚度量測"


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    基於光學干涉原理的微型薄膜厚度量測儀之開發
    • 自動化及控制研究所 /110/ 碩士
    • 研究生: 王依方 指導教授: 柯正浩
    • 本篇論文之研究目的為開發一微型薄膜厚度量測儀,該量測儀運作原理是基於 光學干涉法的實驗理論設計: 入射光分別於薄膜表面與基板反射,兩道反射光會產生 干涉現象,本研究藉由微型分光結構取得干涉光譜,再透…
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    • 全文公開日期 2024/08/12 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/12 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/12 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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